川崎晶圆搬运机器人| NTS系列 NTS20

产品分类：晶圆搬运机器人

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NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。

NTS20

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